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光刻機(jī)主要配置

來源：成都新德南光機(jī)械設(shè)備有限公司 | 發(fā)布時(shí)間：2015-12-28 |

光刻機(jī)的配置包括一下幾個(gè)方面：
(1)曝光頭
冷光橢球鏡
350 W進(jìn)口直流高壓汞燈(德國(guó)歐司朗)
 XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)
 光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡1、準(zhǔn)直鏡鏡2、蠅眼透鏡組(77個(gè)透鏡)、i線濾光片、場(chǎng)鏡1、場(chǎng)鏡2、冷光反射鏡1、反射鏡2

 冷卻風(fēng)扇

光刻機(jī)

(2)對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)
掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)
轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)
樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),自動(dòng)完成
樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，氣缸自動(dòng)調(diào)
承片臺(tái)3個(gè)(2英寸、3英寸、4英寸)
掩模夾4個(gè)(2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸)
掩模抽拉式上下機(jī)構(gòu)
(3)雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡(可以選擇帶CCD型，目鏡和監(jiān)視器可同時(shí)觀測(cè))
光源、電源
雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體
目鏡3對(duì)(10倍、16倍、20倍，共6個(gè))
物鏡3對(duì)(4倍、10倍、20倍，共6個(gè))
CCD光學(xué)系統(tǒng)(選配件)
XYZ底面對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)